英特尔称新ASML高数值孔径光刻机投入出产

作者: [db:作者]   点击次数:    发布时间: 2025-02-27 09:21

【举世网科技综合报道】2025年2月25日，据路透社新闻，英特尔在加利福尼亚州圣何塞举办的一次集会上发布，阿斯麦的首批两台尖端高数值孔径（NA）光刻机已在其工场正式投入出产，而且晚期数据表现这些呆板的机能比晚期型号更为牢靠。英特尔高等首席工程师史蒂夫卡森在集会上表现，英特尔曾经应用ASML的高数值孔径光刻机在一个季度内出产了30,000个晶圆，这些晶圆是足以出产数千个盘算芯片的年夜型硅片。客岁，英特尔成为寰球首家接受这些进步呆板的芯片制作商，这些呆板估计可能出产出比ASML晚期呆板更小、更快的盘算芯片。这一举动标记着英特尔在策略上的改变，此前该公司在采取上一代极紫外（EUV）光刻机方面曾落伍于竞争敌手。 英特尔曾破费七年时光才将晚期的EUV光刻机投入片面出产，这招致其在与台湾半导体系造公司（2330.TW）的竞争中得到了当先位置。在出产的初始阶段，英特尔还对之前EUV型号的牢靠性提出了质疑。但是，卡森在集会上流露，在开端测试中，ASML的新型高数值孔径呆板的牢靠性大概是上一代呆板的两倍。“咱们以稳固的速率出产晶圆，这对咱们的平台来说是一个宏大的利益。”卡森表现。据悉，新的ASML呆板应用光束将特点打印到芯片上，比拟晚期呆板，它们能够应用更少的曝光实现雷同的任务，从而节俭时光跟款项。卡森指出，英特尔工场的晚期成果表现，高数值孔径呆板仅用一次曝光跟“个位数”的处置步调就能实现晚期呆板须要三次曝光跟大概40个处置步调才干实现的任务。英特尔还表现，打算应用高NA呆板辅助开辟所谓的18A制作技巧，该技巧估计将于往年晚些时间与新一代PC芯片一同停止量产。别的，该公司还打算应用其下一代制作技巧14A片面投入高数值孔径呆板的出产，但尚未流露该技巧的量产日期。（文智）